사불화 탄소 CAS 75-73-0

제품 이름: 사불화 탄소 사불화 탄소 가스 Tetrafluoromethan Perfluorocarbon

제품 등급: 분석 등급

제품 순도: 99.999%

포장 사양: 40L

중국 이름: 四 化

중국어 별칭: 四

CAS: 75-73-0

EINECS: 200-896-5

분자식: CF4

분자량: 88

물리적 및 화학적 특성:-녹는 점: -184 ℃

탄소 테트라 플루오 라이드는 마이크로 전자 산업에서 가장 널리 사용되는 플라즈마 캔들 조각 가스입니다. 고순도 가스와 고순도 탄소 테트라플루오르화물 가스의 혼합물이며,

1 이다. 그것은 실리콘, 이산화 실리콘, 질화 실리콘, 인 실리콘 유리 및 텅스텐 박막 재료의 양초 조각에 널리 사용될 수 있습니다. 실리콘 및 이산화 실리콘 시스템의 경우 CF4-H2 반응성 이온 에칭을 사용할 때 두 가스의 비율을 조정하여 45:1 의 선택성을 얻을 수 있습니다. 이는 폴리실리콘 게이트 상에서 실리콘 이산화물을 에칭할 때 매우 유용하다.

2. 그것은 또한 널리 전자 장치 표면 청소, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 가스 상 절연, 저온 냉동,

누출 감지 에이전트, 인쇄 회로 생산에서 우주 로켓 태도 및 오염 제거제의 제어.

3. CF4 는 매우 강한 화학적 안정성으로 인해 금속 제련 및 플라스틱 산업에도 사용할 수 있습니다.

4. 사불화 탄소는 산소 용해도가 우수하므로 과학자들이 초심층 다이빙 실험에서 일반 압축 공기를 대체하는 데 사용합니다. 생쥐에 성공적으로 사용되었으며 생쥐는 275 ~ 366 미터 깊이에서 안전하게 탈출 할 수 있습니다.

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