CARBON TETRAFLUORIDE CAS 75-73-0
제품 이름 : 탄소 테트라 플루오 라이드 탄소 테트라 플루오 라이드 가스 테트라 플루오로 메탄 퍼플 루로 카본
제품 등급 : 분석 등급
제품 순도 : 99.999%
포장 사양 : 40L
중국어 이름 : 탄소 테트라 플루오 라이드
중국 별칭 : 테트라 플루오로 메탄
CAS : 75-73-0
Einecs : 200-896-5
분자식 : CF4
분자량 : 88
물리적 및 화학적 특성 : - 용융점 : -184 학위
탄소 테트라 플루오 라이드는 미세 전자 산업에서 가장 널리 사용되는 플라즈마 캔들 조각 가스입니다. 그것은 고순도 가스와 고급 탄소 테트라 플루오 라이드 가스와 고급 산소가 혼합된다.
1. 실리콘, 이산화 실리콘, 질화물, 인 실리콘 유리 및 텅스텐 박막 재료의 촛불 조각에 널리 사용될 수 있습니다. 실리콘 및 실리콘 이산화물 시스템의 경우, CF 4- H2 반응성 이온 에칭을 사용할 때, 두 가스의 비율을 조정함으로써, 45 : 1의 선택성을 얻을 수 있으며, 이는 소형 실리콘 게이트에서 실리콘 이산화물 필름을 에칭 할 때 매우 유용하다.
2. 또한 전자 장치 표면 세척, 태양 전지 생산, 레이저 기술, 가스 상 절연, 저온 냉장, 또한 널리 사용됩니다.
인쇄 회로 생산에서 누설 감지제, 우주 로켓 태도 제어 및 오염 제거제.
3. 매우 강한 화학적 안정성으로 인해 CF4는 금속 제련 및 플라스틱 산업에도 사용될 수 있습니다.
4. 탄소 테트라 플루오 라이드는 우수한 산소 용해도를 가지므로 과학자들은 매우 깊은 다이빙 실험에서 일반 압축 공기를 대체하는 데 사용됩니다. 마우스에서 성공적으로 사용되었으며, 마우스는 여전히 275 ~ 366 미터의 깊이로 안전하게 탈출 할 수 있습니다.
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