설명
기술적인 매개 변수
사불화탄소(CF₄)는 안정적인 화학적 특성을 지닌 불소{0}}함유 화합물입니다. 최대 50,000년 동안 대기 중에 남아 있으며 온실 효과가 높으며 환경적으로 비친화적입니다. 탄화수소 제품은 CF₄의 대안으로 사용될 수 있습니다.
CF₄는 실리콘, 이산화규소, 질화규소 등의 박막 소재에 미세회로를 제작할 때 플라즈마 식각가스로 사용된다. 끓는점(-128도)이 매우 낮아 초전도 연구, 극저온 수술, 냉각 적외선 탐지 장비에 적합합니다. 또한 금속 제련(예: 알루미늄 및 스테인리스강)에서 보호 가스로 사용되며 플라스틱 산업에서는 합성 첨가제로 사용됩니다.
CF₄는 독성이 없고-가연성이 없지만-농도가 높으면 산소 분압이 감소하여 질식을 유발할 수 있습니다(현기증과 혼수 등의 증상이 나타남). CF₄는 열원(보관 온도 30도 이하)에서 멀리 떨어져 보관해야 하며 인화성 물질 및 산화제와의 혼합을 피해야 합니다. 실린더 안의 CF₄는 물리적 충격을 방지하기 위해 고무링으로 보호해야 합니다.
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